高能束表面強化技術的熱源通常是指激光、電子束及離子束。它們的共同特點是：加熱速度快，加熱面積可根據需要選擇，工件變形小，不需要冷卻介質，可控性能好，便于實現自動化處理。它們的共同特征是：供給材料表面功率密度至少為103W／c㎡。國內外對高能束熱處理的原理、工藝均有較多的研究，比較成熟的是激光表面相變硬化、小尺寸電子束處理和中等功率的離子注入，并在提高工件壽命方面獲得應用。






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